齐鲁网·闪电新闻9月2日讯 山东首根半导体级八英寸直拉硅单晶日前在德州拉制成功，将推动山东半导体产业实现新突破。
历时70多个小时，半导体级八英寸直拉硅单晶成功下线，这标志着有研集成电路用大尺寸硅材料项目即将进入量产阶段。
山东有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目总工程师肖清华说：“我们这次是一次性成功，整个过程印证了我们厂房建设达到了一个非常好的水准。”
硅是重要的半导体材料。拉制成功的单晶硅棒再经过切片、倒角、抛光等工序，被制成硅抛光片，可用于卫星、电脑、手机等领域，是集成电路产业链中重要的基础材料。
山东有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目副总经理刘斌说：“在此之前咱们国家所有的8英寸硅抛光片，基本上是从美国、日本、韩国、德国这些国家进口，从顺利实施，将进一步扩大咱们国家的自主的8英寸硅抛光片的供应。”
硅单晶的拉制是一个极其复杂的过程，缺陷尺度要控制在纳米级，除了工艺技术要精密，项目还对能源供应的稳定性要求严苛。为此，当地专门为企业建设了35千伏专用变电站，实行双回路供电。
德州经济技术开发区科技局局长赵兴介绍说：“组织供水供电等部门成立专门的工作协调小组，建立了每天的早餐例会制度，每天利用早餐时间沟通情况，了解问题，做到问题早发现、早沟通、早协调、早解决，确保调试生产的顺利进行。”
据了解，山东有研集成电路用大尺寸硅材料项目一期总投资18亿元，主要生产6-8英寸硅片，年产量450万片。二期年产360万片12英寸硅片项目计划明年开工建设，建成后将成为我国北方最大的半导体材料基地。
